武汉科立业科技有限公司

全倍率覆盖,精准定位:公司推出0.1X-10X系列中波红外显微镜头,适用半导体锁相检测

2026-04-23

随着半导体工艺向3nm及更先进节点演进,芯片失效分析面临既要看得广,又要看得精的双重挑战。针对这一行业痛点,武汉科立业科技有限公司宣布正式推出0.1X1X3X5X10X全系列中波红外(MWIR)显微镜头。该系列产品专为半导体锁相红外检测设计,实现了从全晶圆快速扫描到单晶体管级精确热点定位的无缝覆盖。

传统红外镜头往往难以兼顾大视野宏观排查和高倍率精确定位。此次发布的系列新品,通过精密的光学设计,构建了完整的倍率梯队:

        0.1X 广角镜头:业内少有的低倍率设计,单视场可覆盖完整12英寸晶圆。适用于快速预检,帮助工程师在数秒内完成芯片全貌热分布扫描,快速锁定疑似区域。

        1X-5X 系列通用镜头:作为日常失效分析的主力倍率,针对封装级和裸芯片级的热传导特性进行了像差优化,能清晰捕捉热扩散路径。

        10X 高倍率镜头:具备高数值孔径(NA),可实现微米级空间分辨率。在锁相检测中,能够精准定位单个晶体管或微小互连层的短路漏电点。

该系列镜头并非简单的放大倍数组合,而是针对锁相热成像技术的深度适配:高红外透过率:针对3-5μm中波波段进行增透镀膜,搭配高灵敏度制冷型中波红外相机,可感知低至0.1mK的微弱温差。优异的消热差设计:确保在长时间锁相积分过程中,镜头受环境温度变化影响极小,保障检测数据的稳定性和可重复性。

在实际测试中,工程师使用该系列镜头配合中波红外相机,对标准靶标进行了成像验证,充分展现了镜头从宏观视野到微观细节的成像能力。0.1X镜头:单视场可覆盖大尺寸物品全貌,呈现完整视野范围内的均匀成像,适用于晶圆级快速扫描。1X-5X镜头:对靶标局部区域进行放大,细节清晰可辨,线条锐利,展现出优异的像差控制能力。10X镜头:高倍率下仍保持出色的分辨率和对比度,微米级特征清晰可见,满足晶体管级别的精确定位需求。

武汉科立业科技有限公司是一家专注于高端光学系统研发、制造、销售的高新技术企业,致力于为全球客户提供红外、可见光、激光等领域的全光谱光学解决方案。公司集自主研发、精密制造、智能服务于一体,核心人员深耕光学行业20余年,产品涵盖高分辨率红外连续变焦镜头、红外双视场镜头、红外电动调焦镜头、红外显微镜头、红外无热化定焦镜头、可见光连续变焦镜头、可见光定焦镜头、激光测距模块、多光谱融合成像系统,广泛应用于无人平台、智能安防、工业检测、地理测绘、消防救援、医疗成像、户外用品等高新技术领域。

此次推出的0.1X-10X全系列中波红外显微镜头,正是公司在半导体检测领域的重要布局。依托20余年的光学设计经验与精密制造能力,该系列产品已通过多轮性能验证,可完美适配各类制冷型中波红外相机,满足半导体锁相检测、失效分析等高端应用需求。